真空箱式氦检漏设备厂家

1、低充氦浓度氦质谱检漏的理论假设

以氦作为示踪气体的检漏中, 氦气在压差的作用下通过漏孔并经真空通道进入氦质谱检漏仪的质谱室逐渐建立起稳定的氦分压, 检漏仪通过质谱分析测出与氦分压线性对应的氦离子流信号, 离子流信号同标准漏孔( 漏率已知) 的校准信号作比对计算出漏率。标准漏孔的气室内一般为纯氦气, 检漏中一般在被检部位施加纯氦气, 但也采用含氦的混和气体, 其中的氦气浓度往往在20% 以上。如果氦浓度低至千分之1 , 要准确判断漏孔漏率, 有两点假设: 一是充氦空间内少量的氦气在混和气体中均匀分布;二是氦气以同比分通过漏孔, 即从漏孔漏出的气体中氦气浓度与混和气体中氦气的理论浓度一致。在此假设条件下有

2、结论

(1)只要保证足够的候检时间, 在较低充氦浓度的条件下, 漏率与浓度间具有定量关系。

(2)用千分之1 浓度标准气示漏的标准漏孔标定系统灵敏度, 使标定状态与检漏工况基本一致, 进一步减小了因标准漏孔的氦浓度与检漏充氦浓度差异而引入的检漏结果不确定度。

(3)对于不能承压过高的被检件整体检漏, 可考虑采用低浓度内置氦源法检测; 检漏工作中可根据技术指标要求适当降低充氦浓度, 可节约资源。